CVD爐
發(fā)布時間:2020-4-27 16:01:07
化學氣相沉積爐應用領域
化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。
化學氣相沉積爐產品規(guī)格
產品型號/規(guī)格W×H×L(mm) 600*600*1000 800*800*1200 1000*1000*1500 1200*1200*2500 1500*1500*3000 2500*2000*3600
裝載重量(KG) 350 800 1500 2500 5000 10000
*高溫度(℃) 1500 1500 1500 1500 1500 1500
溫度均勻性(℃) ±7.5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10 ±15
加熱功率(kw) 250 360 480 600 900 1200
極限真空度(Pa) 20 20 20 20 20 20
壓升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67
以上化學氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協(xié)議為準。
化學氣相沉積爐主要配置
爐門:絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC
加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
工藝氣路系統(tǒng):體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產
真空泵和真空計---進口/國產
PLC:歐姆龍/西門子
控溫儀表:日本島電/英國歐陸
熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產
人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機
電器元件:正泰/施耐德/西門子
料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車
化學氣相沉積爐技術特征
本化學氣相沉積爐*大工作區(qū)尺寸可達2.5m×2m×4.5m,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求;
本化學氣相沉積爐采用多溫區(qū)獨立控溫,溫度均勻性好;
本化學氣相沉積爐采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
本化學氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。