上海晨鑫電爐有限公司

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企業(yè)概況
  • 主營行業(yè):燒結(jié)設(shè)備
  • 法人代表:馬付根
  • 注冊資金:50萬
  • 經(jīng)營模式:生產(chǎn)型
  • 經(jīng)營性質(zhì):私營企業(yè)
  • 地區(qū):上海
聯(lián)系方式
  • 地址:寶山區(qū)滬太路935-2號
  • 電話:021-33719603
  • 傳真:021-33719602
  • 手機(jī):13817293862
  • 聯(lián)系人: 馬付根
  • Email:mfg1898@163.com
  • http://www.sh-vac.com
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供求信息

供應(yīng)CVD涂層設(shè)備

發(fā)布時間:2014-11-29 9:29:11

  CVD涂層設(shè)備技術(shù)參數(shù)

一、系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)主要由涂層沉積真空室、外加熱爐、氣路系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)等組成,實(shí)現(xiàn)加溫后,通入工作氣體,實(shí)現(xiàn)樣品的涂層生長等功能。
1.使用機(jī)械泵抽氣真空度可達(dá)到:1Pa;
2.*高溫度:1100℃;
3.真空室內(nèi)徑:230mm;
4.恒溫區(qū)范圍:600mm×230mm
5.進(jìn)氣管直徑:10mm
6.氫氣*大流量:30SLM; 氮?dú)?大流量:100SLM;甲烷*大流量:5SLM
7.浴槽罐的容量:5公斤;水浴加熱*高溫度:100℃;浴槽罐數(shù)量:2套
8.氣管加熱溫度:150℃

鄭重聲明:以上信息由企業(yè)自行發(fā)布,該企業(yè)負(fù)責(zé)信息內(nèi)容的完整性、真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性。本網(wǎng)站對此不承擔(dān)任何責(zé)任。